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石英玻璃是由二氧化硅单一组分构成的特种工业技能玻璃。高纯不透明石英玻璃是石英玻璃分类中的一个重要产品,是以石英砂、发泡剂、白炭黑等为质料按特别的份额混合,加热成型,总杂质含量不大于30 μg/g的不透明石英玻璃,其除在纯度、热学、耐化学腐蚀等方面具有一般石英玻璃杰出的优异功能外,还具有共同的隔热才能。这首要源于其内部均匀涣散很多微米级气泡,能添加热辐射线在资料内部的散射,有用阻挠热丢失,工业上常作为半导体、光伏等制作设备中反响腔的隔热资料,经过下降反响腔向外的热丢失以节约本钱,并能延伸加热部件的寿数。
20世纪90年代,日本信越、东曹,德国贺利氏等跨国企业已出产高纯不透明石英玻璃,并在之后长达二十多年长时间处在独占位置。近几年,国内石英玻璃出产企业经过技能攻关,把握了出产的根本工艺,产品质量稳步提高,已达国外产品水平。跟着美国的技能封闭和国家一系列利好方针的出台,我国半导体、光通信、太阳能光伏等工业以及航空航天业加快速度进行开展,高纯不透明石英玻璃作为不可或缺的辅助资料,需求量及产值也将大幅提高。
2023年我国发布GB/T 42800-2023《高纯不透明石英玻璃》规范,对产品密度、光谱透射比、耐热性、耐热性、导热系数、杂质元素含量、最大孔径、孔径规范偏差、孔隙率及孔隙率规范偏差等项目进行了规范。
高纯不透明石英玻璃无论是使用于光伏仍是半导体等工业范畴,都要求高纯度,相对而言半导体职业对资料纯度的要求比光伏愈加苛刻。
半导体资料和器材在制备进程中用时较长,并且都需求高温,而这些工艺进程又都是在石英玻璃仪器和器皿中完结的,假如石英玻璃杂质含量超支,会分散至半导体资料和器材,这就不可避免地给半导体资料和器材带来污染。
半导体级高纯不透明石英玻璃要求杂质元素铝(Al)、铁 (Fe)、钙(Ca)、镁 (Mg)、钛(Ti)、铜(Cu)、钴(Co)、镍(Ni)、锰 (Mn)、锂 (Li)、钠 (Na)、钾 (K)、硼(B)、钡(Ba)、铬(Cr)、锆(Zr)16种总量不超越20微克/克。光伏级高纯不透明石英玻璃16种杂质元素总量不超越30微克/克。
石英玻璃制备依据热源和工艺的不同能够将其细分为电熔法、气炼法、等离子体熔制法等。其间,电熔法出品率高且经济,是国内最为遍及的工艺办法,电熔法的成品率除了取决于工艺,更大程度上跟原资料有关。
石英砂细粒的要求为粒径为150-3000μm,杂质含量小于30ppm。 优选的石英砂细粒的要求为粒径为150-3000μm,杂质含量小于20ppm。
湖北菲利华石英玻璃股份有限公司胡世浩研制工程师将出席会议并作《电熔不透明石英玻璃在半导体范畴的使用》陈述。
湖北菲利华石英玻璃股份有限公司是国内外具有较大影响力和规划优势的石英玻璃资料及制品一体化加工企业,石英纤维资料、织物及其复合资料一体化制作企业,是我国首先经过集成电路芯片准入资历认证的石英资料商,本乡企业中首先取得国内首要半导体设备厂商认证的石英加工商,全球少量几家具有石英纤维批量出产才能的企业。现具有荆州、潜江、上海、合肥、泰州、济南六大出产基地以及荆州技能中心、上海研制分公司、武汉技能研究院三大研制渠道。
参阅来历:刘焕敏,吴洁,杨学东:GB/T 42800-2023《高纯不透明石英玻璃》规范解读;
主办单位:建筑资料工业技能情报研究所合浦县人民政府承办单位:我国非金属矿信息渠道《非金属矿开发与使用》编辑部合浦县工业和信息化局